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感光材料超聲噴涂

2023-06-20 來源:杭州馳飛 瀏覽數(shù):623

感光材料是指一種具有光敏特性的半導體材料,因此又稱之為光導材料或是光敏半導體。它的特點就是在無光的狀態(tài)下呈絕緣性,在有光的狀態(tài)下呈導電性。本文介紹的感光材料是光刻膠感光。

 感光材料是指一種具有光敏特性的半導體材料,因此又稱之為光導材料或是光敏半導體。它的特點就是在無光的狀態(tài)下呈絕緣性,在有光的狀態(tài)下呈導電性。本文介紹的感光材料是光刻膠感光。
 
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學反應,經曝光、顯影等光刻工序將所需要的微細圖形從光罩(掩模版)轉移到待加工基片上。依據(jù)使用場景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板。
 
超聲波噴涂系統(tǒng)已被證明可用于需要均勻,可重復的感光材料(光刻膠或聚酰亞胺薄膜)涂層的各種應用。厚度控制范圍從亞微米到100微米以上,并且能夠涂覆任何形狀或尺寸。
 
高均勻性和均一性
 
微流噴涂,多種液體進料方案
 
高液體利用率
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