小型、輕量、高動力的致動器搭載自動閥，閥體使用SUS316L不銹鋼。與以往產品相比，執行器負荷大幅提高。自動開 關部也實現了進一步的小型化和輕量化。另外，在所有環境下都能安心使用的無油結構。

        ?

【適用氣體】

腐蝕性，毒性，易燃，超高純氣體（半導體）：NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】 成功削減約60%的死角空間，清潔性能，耐腐蝕性更出眾

① 氣體很難在閥體內滯留，閥的主件不會受到功能損壞或腐蝕。

② 可保證氣體純度，對半導體品質的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

① 適用于液化氣的大流量閥門，也可用于壓縮氣體。是劃時代的產品！

② 進出口螺紋及形式由客戶指定的規格標準生產。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 ① 可減輕因扭力過大導致的墊片變形。

參數：